微位移倾角升降平台

商品描述

微位移倾角升降平台纳米定位平台

我们的微位移纳米平台具有位置精度高，刚性高，结构紧凑，体积小重量轻，响应快，惯量小，自动锁定，无伺服抖动现象等特点。电机没有摩擦部件，运动时无背隙、无摩擦、无磨损和消耗，超低耗电。它没有磁性且不产生磁辐射，也不受外部磁场干扰，可用于真空和无尘室以及潮湿、干扰大、振动大等恶劣环境，并可超高温和超低温工作，使用寿命长，免维护。部分产品内置气动平衡装置，可适于大负载应用。

典型应用领域：
生物生命科学、药物医学、光学、光电、光纤、测量测试、半导体、微电子、高精密机械和机床、数据存储等。

具体应用设备：
光电显微镜，自动聚焦，显微定位，微米纳米计量尺，LCD等显示平板的生产测试检查，晶片检查定位，消除振动系统，大容量数据磁盘，微型产品的生产加工装配测试，天文观测仪器，自适应光学系统，光纤排列，微型扫描仪，基因处理，显微操作分配，细胞穿透，微型手术，激光调整，光学镜面调整，图像稳定，磨损修正，微型阀/泵，微雕刻。

精密型倾角平台

型号	驱动方式	轴数	倾角范围	细调角度范围(m rad)	最高角精度(μrad)	最高速度(°/sec)	最大力矩(Nm)	负重(kg)
NIT287	压电	1	12 mrad	-	0.2	-	-	8
NIT041	手动/伺服/压电	1	9°	1.4	0.5	4.5	0.75	5
NIT042	手动/伺服/压电	2	9°	1.4	0.5	4.5	0.75	5

精密型升降平台

型号	驱动方式	长宽高 (mm)	行程(mm)	最大分辨率 (nm)	最高位置精度 (μm)	最高速度 (mm/sec)	最大角偏度 (arc-sec)	负重 (kg)
NZT-4V	直线电机直接驱动	1189053	4	2	0.05	50	10	4
NZT-100	伺服电机	29020089	6/13/25	5.3	1	50	10	25
NZT-105	伺服/步进	21611768	5	100		5	25	10
NZT-125	直线电机直接驱动	150130111	25	9	0.1	100		7
NZT-1000	直线电机直接驱动	359359101	2	0.5	0.25	5	3-6	50

经济型手动升降平台

型号	平台尺寸(mm)	运动范围(mm)	最小刻度 (μm)	垂直度	负重(kg)
NZT05M	50 × 50	± 3.25	0.5/5/10	2-7μm/6.5mm	2
NZT07M	70 × 70	± 3	0.25	4μm/6mm	3
NZT07M-S	70 × 70	± 12.5	10	10-15μm/25mm	5-10
NZT07M-C	70 × 70	± 1.5	0.125	3μm/3mm	5
NZT10M	100 × 100	± 2.5 ± 1.5	10 0.125	5μm/5mm 3μm/3mm	7
NZT10M-X	100 × 100	± 12.5	10	8μm/25mm	4

经济型步进驱动升降平台

型号	平台尺寸(mm)	运动范围(mm)	导程(mm)	分辨率（μm/步) 整步方式	最高速度 (mm/sec)	重复精度 (μm)	垂直度	负重(kg)
NZT05A	50 × 50	± 2.5	0.5	0.5	2.5	0.5	7μm/5mm	1
NZT07A	70 × 70	± 12.5 ± 7.5 ± 4	0.5 1.0 1.0	0.5	2.5	0.5	8μm/25mm 8μm/15mm 5μm/8mm	5-10
NZT07A-S	70 × 70	± 2.5	1.0	0.25	1.25	0.5	5μm/5mm	5
NZT10A	100 × 100	± 5 ± 7	0.4 1.0	0.2 0.5	1 2.5	0.5	5μm/10mm 5μm/14mm	5 10
NZT10A-X	100 × 100	± 2.5	1.0	0.25	1.25	0.5	5μm/5mm	7

经济型手动倾角平台

型号	平台尺寸(mm)	运动范围(°)	旋转中心(mm)	转动中心间隙	最小刻度(°)	负重(kg)
NIT03	30 × 30	± 10	30-44	φ0.1-0.2mm/±10°	0.1	1
NIT04	40 × 40	± 10	40-57	φ0.05-0.2mm/±10°	0.1	2
NIT05	50 × 50	± 8/10 ± 3	50-86	φ0.05-0.2mm/±8°-10° φ0.05-0.1mm/±3°	0.1 最小移动量：0.006	3
NIT05-D	50 × 50	± 8/10 ± 3	50-86	φ0.05-0.2mm/±8°-10° φ0.05-0.1mm/±3°	粗调0.0098,微调0.0004	3
NIT07	70 × 70	± 8/10 ± 3	70-122	φ0.05-0.1mm/±3°-10°	粗调0.007,微调0.0003	5
NIT10	100 × 100	± 8/10	95-134	φ0.05-0.1mm/±8°-10°	0.1	5-7
NIT13	130 × 130	± 10	120-173	φ0.05-0.1mm/±10°	0.1	6-10
NIT16	160 × 160	± 10	220-280	φ0.5-1mm/±10°	0.1	15-20

经济型手动微调倾角平台

型号	平台尺寸(mm)	运动范围(°)	旋转中心(mm)	转动中心间隙	最小刻度(°)	负重(kg)
NIT05S1	50 × 50	± 3	50/68/86	φ0.05-0.1mm/±3°	0.1；最小移动量：0.006	3
NIT05S3	50 × 50	± 3	50/68/86	φ0.05-0.1mm/±3°	粗调0.0075，微调0.0004	3
NIT07S1	70 × 70	± 3	70/96/122	φ0.05-0.1mm/±3°	0.1；最小移动量：0.0043	5
NIT07S3	70 × 70	± 3	70/96	φ0.05-0.1mm/±3°	粗调0.007，微调0.0003	5

经济型步进驱动倾角平台

型号 平台尺寸(mm) 运动范围(°) 旋转中心(mm) 转动中心间隙 最高速度
(°/sec) 分辨率
（°/步)
整步方式 背隙(°) 负重
(kg)

NIT04A 40 × 40 ± 10 50/57/40 φ0.05-0.1mm/±10° 9.9-13.4 0.00198-0.00269 0.003 2

NIT05A 50 × 50 ± 8-10 50/68/86 φ0.05-0.1mm/±8/10° 4.8-7.8 0.00097-0.00155 0.003 2-3

NIT07A 70 × 70 ± 8-10 70/96/122 φ0.05-0.1mm/±8/10° 4.8-7.7 0.00096-0.00153 0.003 4-5

NIT10A 100 × 100 ± 8-10 95/134/172 φ0.05-0.1mm/±8/10° 6.7-11.3 0.00134-0.00225 0.003 4-7

NIT13A 130 × 130 ± 10 120/173 φ0.05-0.1mm/±10° 9-12.5 0.0018-0.0025 0.003 6-10

NIT16A 160 × 160 ± 10 220/280 φ0.5-1mm/±10° 6-7.1 0.0012-0.0014 0.003 14-20

上一个：气浮型伺服平台

下一个：微位移旋转平台