按当前的工业水平来说，当精度要求达到微米以下时，以下几个方面都会影响到整个系统装置的精度：
1.来自驱动源电机的自身制造和控制精度，如电机轴、联轴器等机械变形、齿槽分度、磁场分布、控制器矢量运算精确度等
2.来自位置反馈单元的测量误差，如反馈所处位置、偏心度、编码器分度、测量头机械误差和电子编解码丢失误差等
3.来自丝杆、皮带、齿轮和导轨等传动支承部件的制造几何精度、表面光洁度、装配误差以及钢球循环回流的平滑均匀性
4.来自整个系统装置设备在运行过程中的微量变形
5.来自设备安装环境变化的影响，如环境温度变化、安装位置的振动稳定性以及前后级传动装置间的相互影响。

有时我们发现要求很高的绝对精度是很困难的，因为我们无法对系统所有的零部件提出很高的绝对精度要求，那么我们可以把这个系统看成一个“黑盒子”，我们只需要关心其输入和输出的关系。这样就可以得出我们所关心的其实应该是系统的运动重复定位精度和最小分辨率，特别是在微观世界的情况下，就像显微镜下面的运动那样，只要找到相对运动的坐标和参照物即可。有些系统内误差是可以相互作用和部分抵消的，不要只看某个器件的精度，我们的工作就是要找出那些对系统精度产生最大影响的位置和参数指标并予以处理纠正，可以采用电子计算和补偿以及机械设计的改正两个方面来实施。减少和缩短误差链是我们经常要考虑的问题，因此我们才会在很高精度要求时引入直接驱动的直线或旋转电机。